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第349章 年前的大礼,光刻厂技术验证成功!

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而且,这个同步辐射状元,只有几个实验室。

光刻并不顺利。

这已经不知道是第几次尝试了。

梁松教授加入后,对整个光刻工艺、整个设备都进行一个统一的优化;

甚至加入了星海科技的人工智能技术辅助控制。

依旧达不到想要的稳定度和精度。

2009年,建成的临海光源,是全球最先进的第三代高能同步辐射光源。

沅江市投建第四代同步辐射装置,是全球最领先的第四代同步辐射光源。

在燕都政府电子对撞机实验室。

来自夏科院材料、机械、光学、物理等研究所;

燕大、清大、冰城工大、复大等高校;

“其实我们整体研究方向是没问题的,光刻已经实现,只不过不够稳定……”

“或许不是我们设备、工作台不够稳定,也不是我们的透镜精度不够!”

“而是光源不行……”

燕都正负电子对撞机实验室,同步辐射光源只是第一代技术。

确实存在很多缺陷。

临海微电、夏微半导体、星海科技;

研究所、高校、企业、实验室……全部都汇聚在这里。

此刻,在同步辐射装置实验室,改造而成的一个复杂且大型怪异设备中。

一稿光束,贯穿了各种设备和透镜,然后被引入专业设备中,开始对一块晶圆进行光刻!!

“还是失败了……不够稳定。”

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